???? ??????? ??? ??????? ??? ??????? ????? ????? ????? ???????? ????? ?????? ????? ?????? ????? ?????? ??????? ?????? ??????? ?????? ????????? ??????? ?? ????? ??????? ?????? ?????? ??? ???? ????? ?????? ????? ??? ???? ????? ?????? ??? ????? ?????? ?????? ????? ???? ????.???? ???? ??????? ????? ?????? ?????? ?????? ?????? ??????? ??????? ?????.

??? ? ?? ?? ??? ????? ??????? ??????? ????? ??????? ????????? ????????? ???????????? ???? ???????

???? ??? ??? ??????? ????? ?????? ?????? ?????:

1 ????? ????????:

???????? ??? ??????? ? ???? ????? ????? ????? ?? Ra0.008μm ? ??? ?????? ??? ??? ??????? ????????.

2 ????? ???????:

?????? ???????? ???? ??????? ?? ???? ?? ????? ????? ????? ? ??????? ????? ??? ????? ?????? ????? ? ??????? ????? ?????? ?? ??? ????? ?? ??? ????? ? ?????? ?????.???? ????? ????? ???? ?? ?????? ????? ???? ??? ??? 10 ???????? ? ??? ?????? ????????? ??? ??????? ?????? ???????.

3 ??????? ?????????:

???? ?? ???? ??? ????? ??????? ???????? ? ????? ??????? ????.?? ??? ????? ? ?????? ????? ?????? ?????? ??????? ??????? ????? ? ?????? ??? ????? ?????? ???????? ? ?????? ??????? ???????? ??????? ?????? ??????? ? ???. ???? ?????? ??????? ? ?????????? ? ??????? ? ??????? ?????? ?? ????????.????? ???????.

4 ????? ???????? ??? ???????:

????? ???????? ???????? ???????? ??? ??????? ????? ? ??? ????? ?? ???? ???? ?????.

5 ????? ???????:

???????? ??????? ??????? ? ???????? ??????? ??????? ? ????? ??????????????? ? ???.

6. ??? ?????? ????????:

????? ??? ??????? ?????? ?????? ????? ?????? ???? ??????? ????? ?? ???? ???????? ????? ????? ??????.???? ?? ??? ????? ????? ??? Ra0.1μm.

7. ????? ???????? ???????:

???? ?? ???? ????? ????? ?? ??????? ??? ??????? ?????.????? ??? ??? ? ??? ????? ?????? ???????? ?? ???? ???? ? ??? ??? ? ?????? ???.

????? ?????? ??????? ???????? ? ???? ??????? ??? ??????? ??????? ?? ?????? ????? ??????? ??????? ?????:

1. ????? ??????

????? ????? ??? ?????? ?????? ??? 2K? 5K? 8K? 10K? 12 ????? ?????.???? ????? ??????? ? ??? ????? ????? ???? ????? ????? ?????.

????? ?????? ????? ?????? ? ??? ????? ???? ??? ??????? ??????? ?? ??????? ??????? ????? ??? 5 ?????:

???? ?????: ???? ???? ????? ???? ??? ????? ? ?? ???? ???? ?

??????? 2: ???? ?????? ? ?? ???? ???? ?????? ????? ?

??????? 3: ?????? ???? ? ???? ???? ?????? ??????? ?

?????? 4: ????? ???? ? ????? ???? ?????? ??????? ????? (?? ????? ???? ????? ??????? ?????????????) ?

??????? 5: ???? ???? ??????.

??? ?????? ??????? ??????? ????? ??? ???? ???? ???? ??????? ??????? ?????? ??????? ???????? ? ???? ?? ??????? ?????? ? ?????? ????? ??????? ? ?????? ??????? ? ?????? ?????? ? ??? ??? ???. ??? ?? ??????? ?? ???????? ??.

??? ??? ?????? ??? ????? ????? ?????? ????????? ????? ??????, ????? ????? ????? ??????? ????????, ??? ???? ???? ??? ?????????? ???? ?????? ?????? ???????? ???? ?????? ?????? ?????? ?????? ?????? ? ?? ??????? ????? ???????? ????? ??????.